オーテックス株式会社は、レーザー、レーザー周辺機器、光学機器を扱う専門商社です。

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ピエゾ/ステージ Piezo system jena

○○○○○○○○イメージ

Piezo System Jena(ピエゾシステムイエナ)社のピエゾアクチュエーターは堅牢なつくりで高剛性・高精度位置決め精度を誇ります。コンパクトなXYZ3軸ステージ、ティルトミラー、スタックタイプ対物レンズ用、スリット用ファイバースイッチなど幅広い分野にお使いいただいています。ストレンゲージセンサー、インダクティブセンサー、キャパシティブセンサー等を使用しフィードバック制御をおこなったモデルもございます。光学系のアライメントや干渉計・精密加工・精密計測・半導体関連装置などの高い位置精度が求められる分野において多数お使いいただいています。専用ドライバーも高性能・低ノイズ(3mVP-P)のため高い分解能が実現できます。
特に低ノイズが要求されるアプリケーション用に、200NVという超低ノイズドライバーも御用意しています。

 品名 特徴  画像 
  新製品
MIPOS16-158
高精度白色干渉計向けに開発されました。極小ステップ、超高速駆動を実現します。158mmΦの大口径アパチャーと最大積載3kgと言う仕様を持っておりますので、重量の大きい対物レンズやサンプルの精密・高速駆動が可能です。
□ストローク 16μm
□最大負荷 3kg
□内径 158mm
オリエンテーションフリー
(縦置、横置き可能) 
 
  回転ステージ バックラッシュフリー回転ステージ
速度: 770°/秒
繰り返し精度:40秒
クローズドループ可
 
 対物レンズ
フォーカシング
アクチュエーター
MIPOS
□ストローク 20−500μm 最大負荷 (レンズ負荷) 〜1kg
※レボルバー駆動タイプは5kg以上可
□対応レンズ取付 M25, W0.8 (RMS), M26, M27, M32 等
□対応レンズ径 〜φ40mm
□センサータイプ
・歪みセンサー(SG)
・静電容量センサー(CAP)
□アプリケーション例
・バイオ (精密フォーカシング)      (オートフォーカス)
・レーザー加工 (オートフォーカス)
・画像解析   (オートフォーカス) 
 
  高剛性
オリエンテーション
フリーステージ
□ストローク 240,480μm (オープンループ) 200,400μm (クローズドループ)
□最大負荷  〜10kg (オリエンテーションフリー)
□センサータイプ
・歪みセンサー (SG) 
・静電容量センサー (CAP)
□サイズ 52x52x22〜52x70x32mm
□アプリケーション例 ・工作機器 (精密調整)
・レーザー加工 (オートフォーカス)
・ 光学機器 (スキャニング) (精密位置決め)  
 
  高剛性薄型
高進直性ステージ
(X,X-Yステージ)
□ストローク 400〜900μm (オープンループ)
350〜800μm (クローズドループ)
□最大負荷  〜10kg 
□ステージサイズ 60x60x10mm 〜
□センサータイプ
・静電容量センサー(CAP)
□直進性エラー >3μrad
□アプリケーション例    
・顕微鏡用途 (精密位置決め)
・光学機器 (スキャニング) (精密位置決め)  
 
  ミラースキャニング
アクチュエーター
□振り角 〜35mrad
□軸数 Xθ,Xθ−Yθ,Xθ−Yθ−Z □共振周波数  〜 5.8kHz
□サイズ 25x25x24 〜 48x28x36mm
□アプリケーション例
・レーザー加工 (光軸調整)
・ 光学機器 (スキャニング) (光軸調整)
・ 顕微鏡用途 (スキャニング)
・レーザー共振器 (レーザー安定化)  
 
 超薄型大口径X-Y
ステージ
最大の特徴は外形サイズを変えずにストロークを変更することが可能。 ストロークは30,100,250,350,700μmの中から選ぶことができます。 X-Yで違うストロークを使用することにより、速度優先の軸とストローク優先の軸を効率よく使用することが出来ます。また、同社独自のnanoX構造を使用することにより、超薄型ながら、高い剛性を誇っております。 オプションでシャーレーや、3インチスライド用の冶具がございます。 薄型なので各社の顕微鏡に搭載することが可能です。
・外形サイズ:185×185×15mm
・開口:100mm
・ストローク:30〜700mm(X〜Y)
・最大積載:
100N
・クローズドループオプション有、真空オプション可(<100hPa)

 
  開口付3軸
ステージ
□ストローク
・9〜400μm (オープンループ) ・30〜320μm (クローズドループ)
□センサータイプ 歪みセンサー(SG),静電容量センサー(CAP)
□開口 φ40mm
□アプリケーション例
・顕微鏡用途 (精密位置決め)
・レーザー加工 (精密位置決め)
・光学機器 (精密位置決め)  
 
  小型USB/RS485
インターフェース
クローズドループ
コントローラー
2・3・5相ステッピングモーター用クローズドループコントローラー
Input:6系統オプトカプラ
Output: 3系統オープンコレクタ
サイズ:90x60x22o
マイクロステッピング対応
ポジションモニタリングによるオートポジションコレクション機能
 
  TCP/IP対応クローズドループ用コントローラー 2相ステッピングモーター用クローズドループコントローラー
位置・速度・加速度・トルクをコント―ル可。
マイクロステッピング:≧1/256
最大3軸まで組み合わせ可能。

 
  コンパクト・
ローノイズ
3軸コントローラー
□PCインターフェース
 RS232 , USB
□サイズ 240x210x88mm □対応センサー
・歪みセンサー(SG)
・静電容量センサー(CAP) 
□ASI function 同一モデルであれば、交換時に 再調整無しに使用できます。  
 
  キャリブレーション
フリーデジタル
コントローラー
□PCインターフェース
 RS232 , USB
□ASC function すべてのアクチュエーターのシリアル・モデル名 軸方向・PIDとフィルターの設定をステージに 記録が可能です。これにより、メーカーを正規に 出荷されたステージであれば、軸(θも含む)、 センサータイプに問わず。キャリブレーションを まったく必要なしに使用が可能です。 また、PID、各種フィルターの設定をユーザーが デジタルにて変更、保存が可能です。  
 
 nanoXシリーズ 巨大対物レンズのフォーカシングに使用も可能です。  
□ストローク: 240・480μm  
(クローズドループ時 200・400μm)
□Push/pullフォース: <100N  
□Max load: <100N  
 


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