Products製品情報
ウェハー加工/ダイシング
製品一覧
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ALIO社が±30°の傾き可能なハイブリッドヘキサポッドをリリース！360°回転も可能！Patented 高剛性長ストロークヘキサポッドステージ
自動ステージ ALIO Industries ヘキサポッド ステージ
XYストローク ≧60mm Zストローク ≧6mm チルト <±30° 回転(ZΘ) 360° 繰り返し精度 ±80nm ALIO Industries
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小型高剛性3軸ステージ
自動ステージ ALIO Industries XYZステージ
Xストローク 30㎜ 60㎜ Yストローク 30㎜ 60㎜ Zストローク 30㎜ 30㎜ 繰り返し精度 ±30nm ±30nm 最大負荷 お問い合わせください。 走り精度 お問い合わせください。 ALIO Industries
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True nano Tech 薄型高剛性ステージ
自動ステージ ALIO Industries XYステージ（デモ機あり）
ストローク 30-450㎜ 繰り返し精度 ±30nm 分解能 <5nm 最大速度 0.5-1.0m/sec ALIO Industries
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小型高剛性Z軸ステージ
自動ステージ ALIO Industries ボイスコイルモーター/クロスローラーガイドZ軸ステージ
ストローク 6-50mm 繰り返し精度 ±45nm 走り精度 お問い合わせください。 最大負荷 お問い合わせください。 ALIO Industries
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リニアモーター搭載で超大口径アパチャ薄型ステージ
自動ステージ ALIO Industries 大口径アパチャ薄型ステージ
開口径 φ56～312mm 分解能 0.01-0.04 arc-sec 繰り返し精度 ～ ±30nm ALIO Industries
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高出力レーザー対応アジマス、ラジアルコンバーター！
アジマス、ラジアルコンバーター Altechna S-waveplate
材料 UVFS, IRFS 開口 Φ2mm-Φ15mm 対応波長 343nm-3μm Altechna
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高精度・高損傷閾値を持つ平板型アキシコンレンズ（波長範囲330-2000nm, クリアアパチャー最大直径15mm）
最先端光学デバイス Altechna アキシコンレンズ
材料 石英 サイズ Φ25.4mm 頂点角度 90-179° コーティング UV, VIS, NIR, uncoated Altechna
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高出力用レーザーパワーアッテネーター
レーザー用オプティクス Autex 高出力用レーザーパワーアッテネーター
Autex
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これでアウトガス対策もばっちり！接着剤レス波長板！
レーザー用オプティクス Autex 接着剤レス波長板
Autex
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手間のかかる工程、溶剤、残留接着剤の除去不要！
再利用可能でSDGsな UV 硬化型仮止め接着剤！光硬化型樹脂 PARQIT UV 硬化型仮止め接着剤
Autex
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位置ずれの気にならない硬化収縮率の低い光硬化樹脂！
光硬化型樹脂 PARQIT 低硬化収縮率エポキシ系接着剤
Autex
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完全Reflectiveタイプのビームシェイパー。
Reflective光学系なので、極短パルスレーザーに最適。最先端光学デバイス Cailabs ビームシェイパー
Cailabs
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最大4kW対応可能なデフォーマブルミラー！
最先端光学デバイス/アダプティブオプティクス Dynamic optics デフォーマブルミラー
アパチャーサイズ 10～25㎜ ミラーサイズ 10mm ～ 200mm アクチュエーター数 32～128 ミラーコーティング metallic or dielectric (up to R>99.99%, high damage threshold) Dynamic optics
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圧倒的に高い回折効率の超音波光変調器、周波数シフター!出力の調整、パルスピック、様々なご用途に！
音響光学素子 Gooch&Housego AOモジュレーター AOM /超音波光変調器、周波数シフター
対応波長帯域 257 ～ 10,600nm 中心周波数 40 ～ 600 MHz 開口 0.1mm ～ 9.6mm 媒質 TeO2, Crystaline-Quartz, Germanium Gooch&Housego
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複数のビームの変調、偏光に！
音響光学素子 Gooch&Housego マルチチャンネル超音波光変調器 MCAOM
下記一覧にないモデルもございますので、お気軽にお問い合わせください。
カスタム品についてもご相談ください。モデル 波長帯域 Ch数 Rise/fall time 開口 駆動周波数 結晶 AOMC 3160-8 UV 364nm 8 21ns 0.18mm 160MHz Fused Silica AOMC 125-24 UV 350-365nm 24 23ns 0.5mm 125MHz Crystalline Quartz AOMC 220-5 UV 413nm 5 16ns 0.24mm 220MHz Crystalline Quartz AOMC 220-4 UV 350-365nm 4 16ns 0.24mm 190-250MHz Crystalline Quartz AOMC 300-5 UV 413nm 5 10ns 0.2mm 300MHz Crystalline Quartz AOMC 3350-6 Visible 350-850nm 6 7ns 0.33mm 350MHz Tellurium Dioxide Gooch&Housego
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高出力Q-Switchナノ秒レーザー
ナノ秒レーザー IRADION 固体レーザー
355-8-V-60 355-6-V-80 355-3-V-150 355-3-V 355-1-V-400 出力 8 W @ 60 kHz 6 W @ 80 kHz 3 W @ 150 kHz 3 W @ 40 kHz 1 W @ 400 kHz 波長 355 nm 355 nm 355 nm 355 nm 355 nm ビーム品質 TEM00 TEM00 TEM00 TEM00 TEM00 M² < 1.4 < 1.3 < 1.3 < 1.3 < 1.4 パルスエナジー 133 µJ @ 60 kHz 75 µJ @ 80 kHz 20 µJ @ 150 kHz 75 µJ @ 40 kHz 2.5 µJ @ 400 kHz パルス幅 < 25 ns @ 60 kHz < 35 ns @ 80 kHz < 35 ns @ 150 kHz < 35 ns @ 40 kHz < 60 ns @ 400 kHz 繰り返し周波数 1 – 300 kHz 1 – 300 kHz 1 – 300 kHz 1 – 300 kHz 1 – 500 kHz 532-20-V 532-20-V-100 532-10-V 532-10-V-20 532-10-V-SP 532-18-Y 出力 20 W @ 40 kHz 20 W @ 100 kHz 10 W @ 40 kHz 10 W @ 20 kHz 10 W @ 40 kHz 18 W @ 10 kHz 波長 532 nm 532 nm 532 nm 532 nm 532 nm 532 nm ビーム品質 TEM00 TEM00 TEM00 TEM00 TEM00 TEM00 M² < 1.3 < 1.4 < 1.2 < 1.2 < 1.2 < 1.3 パルスエナジー 500 µJ @ 40 kHz 200 µJ @ 100 kHz 250 µJ @ 40 kHz 500 µJ @ 20 kHz 250 µJ @ 40 kHz 1800 µJ @ 10 kHz パルス幅 < 20 ns @ 40 kHz < 40 ns @ 100 kHz < 30 ns @ 40 kHz < 10 ns @ 20 kHz < 20 ns @ 40 kHz < 40 ns @ 10 kHz 繰り返し周波数 1 – 500 kHz 1 – 500 kHz 1 – 300 kHz 1 – 300 kHz 1 – 300 kHz 1 – 100 kHz 1064-25-V 1064-20-V-20 1064-16-V 1064-16-V-LP 1064-20-Y 1064-12-Y-LP 出力 23 W @ 50 kHz 20 W @ 20 kHz 14 W @ 50 kHz 15 W @ 50 kHz 18 W @ 10 kHz 12 W @ 10 kHz 波長 1064 nm 1064 nm 1064 nm 1064 nm 1064 nm 1064 nm ビーム品質 TEM00 TEM00 TEM00 TEM00 TEM00 TEM00 M² < 1.2 < 1.2 < 1.2 < 1.2 < 1.2 < 1.2 パルス幅 < 40 ns @ 50 kHz < 10 ns @ 20 kHz < 45 ns @ 50 kHz < 100 ns @ 50 kHz < 40 ns @ 10 kHz < 100 ns パルスエナジー 460 µJ @ 50 kHz 1000 µJ @ 20 kHz 280 µJ @ 50 kHz 300 µJ @ 50 kHz 1800 µJ @ 10 kHz 1.2 mJ @ 10 kHz 繰り返し周波数 1 – 300 kHz 1 – 60 kHz 1 – 300 kHz 1 – 150 kHz 1 – 50 kHz 1 – 20 kHz 1342-8-V 出力 8 W @ 20 kHz 波長 1342 nm ビーム品質 TEM00 M² M² < 1.2 パルス幅 < 80 ns @ 20 kHz パルスエナジー 400 µJ @ 20 kHz 繰り返し周波数 1 – 50 kHz IRADION
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超小型Q-Switchナノ秒レーザー
ナノ秒レーザー IRADION 超小型固体レーザー
1064-6-V 1064-3-V 出力 6W@100kHz 3W@100kHz 波長 1064nm 1064nm ビーム品質 TEM00 TEM00 * M2 ＜ 1.2 ＜ 1.2 パルスエナジー 100μJ@50kHz 50μJ@50kHz 繰返し周波数 1HZ-200kHz 1HZ-200kHz 532-5-V 532-2-V 532-2-Y 出力 5W@50kHz 2W@50kHz 2W@10kHz 波長 532nm 532nm 532nm ビーム品質 TEM00 TEM00 TEM00 * M2 ＜ 1.3 ＜ 1.3 ＜ 1.3 パルスエナジー 100μJ@50kHz 40μJ@50kHz 200μJ@10kHz パルス幅 <12ns@50kHz <12ns@50kHz <15ns@10kHz 繰返し周波数 1Hz-200kHz 1Hz-200kHz 1Hz-100kHz 355-1-V 355-0.3-V 355-0.3-Y 出力 1W@50kHz 0.3W@50kHz 0.3W@10kHz 波長 355nm 355nm 355nm ビーム品質 TEM00 TEM00 TEM00 * M2 ＜ 1.3 ＜ 1.3 ＜ 1.3 パルスエナジー 20μJ@50kHz 6μJ@50kHz 30μJ@10kHz パルス幅 <12ns@50kHz <10ns@50kHz <13ns@10kHz 繰返し周波数 1Hz-200kHz 1Hz-200kHz 1Hz-100kHz IRADION
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長寿命Q-Switchナノ秒レーザー
ナノ秒レーザー IRADION 固体レーザー
1342-8-V 出力 8W 波長 1342nm ビーム品質 TEM00 * M2 ＜ 1.4 パルスエナジー 100μJ 繰返し周波数 1HZ-100kHz 1064-30-V 出力 30W 波長 1064nm ビーム品質 TEM00 * M2 ＜ 1.2 パルスエナジー 375μJ パルス幅 30ns 繰返し周波数 1Hz-150kHz 532-40-V 532-30-V 532-25-V-300 出力 40W 30W 25W 波長 532nm 532nm 532nm ビーム品質 TEM00 TEM00 TEM00 * M2 ＜ 1.4 ＜ 1.4 ＜ 1.4 パルスエナジー 1000μJ 750μJ 83μJ パルス幅 15ns 20ns 100ns 繰返し周波数 1Hz-400kHz 1Hz-400kHz 1Hz-400kHz IRADION
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次世代材料加工向けのフェムト秒レーザー
フェムト秒レーザー IRADION ファイバーレーザー
515-15-Yb-2500 出力 15 W @ 2500 kHz 波長 515 nm ビーム品質 TEM00 M² < 1.5 パルス幅 500 fs – 4 ps(ソフトウェアにより調整可能) パルスエナジー 15 µJ @ 1000 kHz 繰り返し周波数 Single Shot to 2500 kHz 1030-25-Yb-2500 出力 25 W @ 2500 kHz 波長 1030 nm ビーム品質 TEM00 M² < 1.5 パルス幅 500 fs – 4 ps(ソフトウェアにより調整可能) パルスエナジー 25 µJ @ 1000 kHz 繰り返し周波数 Single Shot to 2500 kHz 1950-8-T-2500 1950-8-T-2500-LP 出力 8 W @ 2500 kHz 8 W @ 2500 kHz 波長 1950 nm 1950 nm ビーム品質 TEM00 TEM00 M² < 1.5 < 1.5 パルス幅 500 fs +/- 100 fs 500 fs +/- 100 fs パルスエナジー 4 µJ @ 2000 kHz 4 µJ @ 2000 kHz 繰り返し周波数 Single Shot to 2500 kHz Single Shot to 2500 kHz IRADION
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高剛性！対物レンズ用アクチュエーター
自動アクチュエーター Piezosystem Jena 対物レンズ用アクチュエーター/フォーカシングポジショナー
ストローク 分解能 センサータイプ MIPOS 20 20um / 16um 0.04nm/1nm(SG) SG MIPOS 100 100um / 80um 0.2nm/2nm(SG) SG MIPOS 250 250um / 200um 0.5nm/5nm(SG)/1nm(CAP) SG/CAP nano MIPOS 400 400um / 320um 0.8nm/1nm(CAP) CAP MIPOS 500 500um / 400um 0.9nm/12nm(SG) SG MIPOS 600 600um / 500um 0.9nm/12nm(SG) SG Piezosystem Jena
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小型高精度ヘキサポッドステージ SOLANO
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ SOLANO
XYストローク ±18mm Zストローク ±6.5mm チルト <±10° 回転(ZΘ) ±21° 繰り返し精度(XYZ) ±0.25μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) ±4μrad サイズ φ120mm 高さ(Z中間地点)104mm 開口φ32mm 耐荷重 5kg Symetrie
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小型高精度ヘキサポッドステージ BORA
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ BORA
XYストローク ±20mm Zストローク ±10mm チルト <±10° 回転(ZΘ) ±15° 繰り返し精度(XYZ) ±0.4μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) ±3.2μrad サイズ φ210mm 高さ(Z中間地点)145mm 開口φ36mm 耐荷重 10kg Symetrie
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小径高精度ヘキサポッドステージ MAUKA
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ MAUKA
XYストローク ±5mm Zストローク ±10mm チルト <±8° 回転(ZΘ) ±8° 繰り返し精度(XYZ) ±0.5μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) ±5μrad サイズ φ107mm 高さ(Z中間地点)198mm 開口φ30mm 耐荷重 5kg Symetrie
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小型ダイナミックヘキサポッドステージ HEGOA
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ HEGOA
XYストローク ±100mm Zストローク ±50mm チルト <±23° 回転(ZΘ) ±30° XYZスピード ±200mm/s チルト/回転スピード ±50mm/s サイズ φ322mm 高さ(Z中間地点)420mm 耐荷重 50kg 重量 3kg Symetrie
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シンプル高精度ヘキサポッドステージ PUNA
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ PUNA
XYストローク ±30mm Zストローク ±20mm チルト <±11° 回転(ZΘ) ±20° 繰り返し精度(XYZ) ±0.75μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) ±3.2μrad サイズ φ320mm 高さ(Z中間地点)200mm 開口φ144mm 耐荷重 25kg Symetrie
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高精度ヘキサポッドステージ BREVA
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ BREVA
XYストローク ±75mm Zストローク ±50mm チルト <±20° 回転(ZΘ) ±22° 繰り返し精度(XYZ) ±0.5μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) ±2.5μrad サイズ φ606mm 高さ(Z中間地点)350mm 開口φ250mm 耐荷重 200kg Symetrie
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高耐荷重高精度ヘキサポッドステージ ZONDA
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ ZONDA
XYストローク ±50mm/±200mm(長ストロークモデル) Zストローク ±25mm/±150mm(長ストロークモデル) チルト <±10°/±20°(長ストロークモデル) 回転(ZΘ) ±20° 繰り返し精度(XYZ) ±0.25μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) ±2.5μrad/±1μrad(長ストロークモデル) サイズ φ320mm 高さ(Z中間地点)360mm/φ720mm 高さ(Z中間地点)640mm(長ストロークモデル) 耐荷重 400kg Symetrie
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高精度長ストロークヘキサポッドステージ SIRIUS
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ SIRIUS
XYストローク ±150mm Zストローク ±100mm チルト <±16° 回転(ZΘ) ±20° 繰り返し精度(XYZ) XY±3μm Z±2μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) RxRy±10μrad Rz±17.5μrad サイズ φ520mm 高さ(Z中間地点)750mm 耐荷重 500kg Symetrie
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高安定高精度ヘキサポッドステージ KUBAN
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ KUBAN
XYストローク ±75mm Zストローク ±45mm チルト <±5° 回転(ZΘ) ±10° 繰り返し精度(XYZ) XY±0.2μm Z±0.1μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) RxRy±2.5μrad Rz±4μrad サイズ φ450mm 高さ(Z中間地点)600mm 開口φ200mm 耐荷重 500kg Symetrie
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1500kg耐荷重高安定高精度長ストロークヘキサポッドステージ JORAN
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ JORAN
モデル名 XYストローク
(mm)Zストローク
(mm)Rx Ryストローク
(°)Rzストローク
(°)XYスピード
(mm/s)Zスピード(mm/s) Rx Ryスピード
(°/s)Rzスピード
(°/s)耐荷重(kg) JORAN BJ ±75 ±50 ±5 ±8 0.6 0.4 0.045 0.07 1500 JORAN UJ ±170 ±100 ±10 ±18 0.6 0.4 0.045 0.07 1500 Symetrie
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500kg耐荷重のヘキサポッドステージ SURES
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ SURES
XYストローク ±8mm Zストローク ±6mm チルト <±1° 回転(ZΘ) ±1° 繰り返し精度(XY) ±0.25μm 繰り返し精度(Z) ±0.13μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) ±0.5μrad サイズ φ690mm 高さ(Z中間地点)360mm 耐荷重 500kg Symetrie
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コンパクトダイナミックヘキサポッドステージ NOTUS
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ NOTUS
モデル名 XYストローク
(mm)Zストローク
(mm)Rx Ryストローク
(°)Rzストローク
(°)XYスピード
(mm/s)Zスピード(mm/s) Rx Ry Rzスピード
(°/s)耐荷重(kg) NOTUS P ±250 ±200 ±25 ±30 800 300 50 200 NOTUS V ±250 ±200 ±25 ±30 1200 640 135 100 Symetrie
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ダイナミックヘキサポッドステージ MISTRAL
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ MISTRAL
モデル名 XYストローク
(mm)Zストローク
(mm)Rx Ryストローク
(°)Rzストローク
(°)XYスピード
(mm/s)Zスピード(mm/s) Rx Ryスピード
(°/s)Rzスピード
(°/s)耐荷重(kg) MISTRAL 600 ±400 ±300 ±30 ±40 1000(耐荷重1000kg)/1200(耐荷重500kg) 600(耐荷重1000kg)/1000(耐荷重500kg) 50(耐荷重1000kg)/100(耐荷重500kg) 70(耐荷重1000kg)/140(耐荷重500kg) 1000/500 MISTRAL 800 ±460 ±400 ±30 ±40 1000(耐荷重1000kg)/1200(耐荷重500kg) 600(耐荷重1000kg)/1000(耐荷重500kg) 50(耐荷重1000kg)/100(耐荷重500kg) 70(耐荷重1000kg)/140(耐荷重500kg) 1000/500 Symetrie
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小型ダイナミックヘキサポッドステージ SIROCCO
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ SIROCCO
XYストローク ±600mm Zストローク ±500mm チルト,回転 <±40° XYスピード ±2000mm/s Zスピード ±1600mm/s チルトスピード ±200°/s 回転スピード ±100°/s サイズ φ3350mm 高さ(Z中間地点)2850mm 耐荷重 2000kg Symetrie
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パワフルヘキサポッドステージ AQUILON
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ AQUILON
XYストローク ±800mm Zストローク ±650mm チルト <±200° 回転(ZΘ) ±100° XYスピード ±1800mm/s Zスピード ±1600mm/s チルトスピード ±200°/s 回転スピード ±100°/s サイズ φ2100mm 高さ(Z中間地点)3311mm 耐荷重 6000kg Symetrie
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カスタムヘキサポッドステージ
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ カスタム品
Symetrie
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繰り返し周波数可変 小型モノリシックキャビティピコ秒レーザー Micro Chip (繰り返し周波数可変タイプ)
ピコ秒レーザー Teemphotonics YAGレーザー
シリーズ モデル名 エネルギー
(μJ)平均出力
(mW)繰り返し
(kHz)パルス幅
(ps)ピーク出力
(kW)1064nm レーザー仕様 Micro Chip STP-07E >7 – 1Hz～4kHZ <700 >10 532nm レーザー仕様 Micro Chip STG-03E >3 – 1Hz～4kHZ <500 >6 355nm レーザー仕様 Micro Chip STV-01E >1 – 1Hz～4kHZ <400 >2.5 Micro Chip STV-02E >2 – 1Hz～4kHZ <600 >4 266nm レーザー仕様 Micro Chip STU-01E >1 – 1Hz～4kHZ <400/td> >2 Teem Photonics