非磁性環境下計測

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コンパクトで正確なピエゾ回転ステージ

分解能 3～109μrad

回転速度 12 ～720度/s

サイズ 40x35x21(mm)～50x46x21（㎜）

自動ステージ　Xeryon　ピエゾ回転ステージ

Xeryon