真空、極低温関連

ピエゾモーターステージ

自動ステージ　NANOS Instruments　ピエゾモーターステージ

NANOS Instruments
長寿命でノイズや振動が極めて少ない超音波モーターを用いた精密ステージです。ほとんどのピエゾモーションシステムで発生する不快な音を防ぎ、完全に無音にします。またXeryon製の回転やリニアステージの組み合わせやインストール操作がとても簡単です。

自動ステージ　Xeryon　ピエゾ超音波ステージ

稼働軸 3軸

ストローク 10～120mm

分解能 1.25µm～１nm

推進力 1～3N

サイズ 30x34x13㎜～120x49x13㎜

真空オプション 10＾-6mbar

Xeryon
コンパクトで正確なピエゾ回転ステージ

自動ステージ　　Xeryon　ピエゾ回転ステージ

分解能 3～109μrad

回転速度 12 ～720度/s

サイズ 40x35x21(mm)～50x46x21（㎜）

Xeryon

稼働軸	3軸
ストローク	10～120mm
分解能	1.25µm～１nm
推進力	1～3N
サイズ	30x34x13㎜～120x49x13㎜
真空オプション	10＾-6mbar

分解能	3～109μrad
回転速度	12 ～720度/s
サイズ	40x35x21(mm)～50x46x21（㎜）

世界最小級、わずか６ｇ！クローズドループ制御可能の高速アクチュエーター

ピエゾアクチュエーター/ピエゾモーター　　Xeryon　超音波ピエゾアクチュエータ

ストローク	5-185mm
保持力	１N/３N
アクチュエーター材質	陽極酸化アルミニウム（ハウジング）、ステンレススチール（ロッド、ハウジングカバー）
寸法	22.7 x 14.8 x 5.4 mm（アクチュエーター部分）

Xeryon

小型長ストロークアクチュエーター

ピエゾアクチュエーター　　Piezosystemjena　X軸ピエゾアクチュエーター

ストローク分解能発生力

PX500 500um 1.2nm 35N

PX1500 1500um 3nm 60N

Piezosystem Jena

	ストローク	分解能	発生力
PX500	500um	1.2nm	35N
PX1500	1500um	3nm	60N

高剛性！対物レンズ用アクチュエーター

自動アクチュエーター　　Piezosystem Jena　対物レンズ用アクチュエーター/フォーカシングポジショナー

	ストローク	分解能	センサータイプ
MIPOS 20	20um / 16um	0.04nm/1nm(SG)	SG
MIPOS 100	100um / 80um	0.2nm/2nm(SG)	SG
MIPOS 250	250um / 200um	0.5nm/5nm(SG)/1nm(CAP)	SG/CAP
nano MIPOS 400	400um / 320um	0.8nm/1nm(CAP)	CAP
MIPOS 500	500um / 400um	0.9nm/12nm(SG)	SG
MIPOS 600	600um / 500um	0.9nm/12nm(SG)	SG

Piezosystem Jena

コンパクトな筐体に5軸を搭載したピエゾステージ

自動ステージ　　Piezosystem Jena　5軸ピエゾステージ

モデルストローク[um] 開口[mm](φ) センサータイプ

PENTOR 100 17 –

PENTOR SG 100 17 SG

Piezosystem Jena

モデル	ストローク[um]	開口[mm](φ)	センサータイプ
PENTOR	100	17	–
PENTOR SG	100	17	SG

小型長ストロークXYZ3軸ピエゾステージ

自動ステージ　　Piezosystem Jena　XYZ3軸ピエゾステージ

モデル	ストロークum(オープン/クローズ)	開口	センサータイプ
MicroTritor	9	–	–
miniTritor	38	–	–
Tritor38	38/30	–	SG
Tritor50	50/40	–	–
Tritor100	100/80	–	SG, CAP
Tritor102	100/80	φ40㎜	SG, CAP
Tritor320	50X50Y400Z/40X40Y320Z	150x150mm	CAP
Tritor400	400/320	12.5㎜	SG, CAP

詳細は仕様をダウンロードして、ご確認ください。

Piezosystem Jena

ユニークデザインで高剛性なXY2軸ピエゾステージ

自動ステージ　　Piezosystem Jena　XYピエゾステージ

モデル	ストローク[um]	開口[mm]	センサータイプ
PXY　D12	40/-、80/65、200/160		SG
PXY16	16/12	φ66	–
PXY16　OEM	16/12	L字	CAP
PXY36	36/30	50ｘ50mm	–
PXY38	38/32	–	SG, CAP
ScanXY40	40	φ15mm	–
PXY100	100/90	–	SG, CAP
PXY102	100/80	φ40mm	SG, CAP
PXY200	200/160	φ28mm	SG
PXY201	250/200	30ｘ30mm	CAP
PXY400	400	22x22mm	–

詳細は仕様をダウンロードして、ご確認ください。

Piezosystem Jena

小型長ストロークX軸ピエゾステージ

自動ステージ　　Piezosystem Jena　X軸ピエゾステージ

	ストローク	分解能	センサータイプ
PX38	39um	0.07nm	–
PX38 SG	39um / 32um	0.07nm / 0.7nm	SG
PX50 CAP	50um / 40um	0.1nm / 1nm	CAP
PX100	100um	0.2nm	–
PX100 SG	100um / 80um	0.2nm / 2nm	SG
PX200	200um	0.4nm	–
PX200 SG	200um / 160um	0.4nm / 4nm	SG
PX200 CAP	200um / 160um	0.4nm / 2nm	CAP
PX300	300um	0.6nm	–
PX300 SG	300um / 240um	0.6nm / 6nm	SG
PX300 CAP	300um / 240um	0.6nm / 3nm	CAP
PX400	400um	0.8nm	–
PX400 SG	400um / 320um	0.8nm / 8 nm	SG
PX400 CAP	400um / 320um	0.8nm / 4nm	CAP

Piezosystem Jena

小型長ストロークZ軸ピエゾステージ

自動ステージ　　Piezosystem Jena　Z軸ピエゾステージ

	ストローク[um]	分解能[nm]	センサータイプ
PZ250 SG	350 / 250	0.7	SG
PZ250 CAP WL	350 / 250	3	CAP
PZ300 AP	370	0.6	–
PZ300 CAP AP	370 / 300	0.6 / 1	CAP
PZ400	400	0.8	–
PZ400 SG	400 / 320	0.8 / 8	SG
PZ700 SI	700	1.4	–

Piezosystem Jena

小型長Z軸ピエゾステージ

自動ステージ　　Piezosystem Jena　Z軸ピエゾステージ

	ストローク	分解能	センサータイプ
PZ8 D12	8um	0.7nm	–
PZ8 D12 SG	8um / 6.4um	0.7nm / 8nm	SG
PZ20 D12	20um	0.7nm	–
PZ20 D12 SG	20um / 16um	0.7nm / 16nm	SG
PZ10	10um	0.02nm	–
PZ16 CAP	22um / 16um	0.04nm / 0.4nm	CAP
PZ38	38um	0.08nm	–
PZ38 SG	38um / 32um	0.08nm / 0.7nm	SG
PZ38 CAP	38um / 32um	0.08nm / 0.7nm	CAP
PZ100	100um	0.2nm	–
PZ100 SG	100um / 85um	0.2nm / 2nm	SG
PZ100 CAP	100um / 85um	0.2nm / 1nm	CAP
PZ200 OEM	200um	0.4nm	–
PZ200 SG OEM	200um / 160um	0.4nm / 4nm	SG
PZ400 OEM	400um	0.8nm	–
PZ400 SG OEM	400um / 320um	0.8nm / 8nm	SG

Piezosystem Jena

オリエンテーションフリーブロックタイプピエゾステージ

自動ステージ　　Piezosystem Jena　オリエンテーションフリーピエゾステージ

ストローク	40-100um
共振周波数	<1320Hz
センサーオプション	ストレンゲージタイプ

詳細は仕様をダウンロードして、ご確認ください。

モデル	ストローク[um]	分解能[nm]	最大発生力[N]	センサータイプ
PU40	40	0.08	32	–
PU40　SG	32	0.08 / 0.8	32	SG
PU90	90	0.18	135	–
PU90　SG	72	0.18 / 1.8	135	SG
PU100	100	0.2	135	–
PU100 SG	80	0.2 / 2	135	SG
PU65 HR	65	for Scan	48	–

Piezosystem Jena

3軸ピエゾ高速ティルトステージ

自動ステージ　　Piezosystem Jena　ピエゾティルトステージ

モデル	ストローク[mrad]	Z軸ストローク[um]	センサータイプ
PSH 1	1	–	SG
PSH 1z	1	8	SG
PSH 2	2	–	SG
PSH 2z	2	16	SG
PSH 3	3	–	SG
PSH 3z	3	26	SG
PSH 4	4	–	SG
PSH 4z	4	33	SG
PSH 8	8	–	SG
PSH 8z	8	–	SG

詳細は仕様をダウンロードして、ご確認ください。

Piezosystem Jena

1軸ピエゾ高速ティルトステージ

自動ステージ　　Piezosystem Jena　ピエゾティルトステージ(1軸)

モデルストローク分解能

PSH4/1 ±2mrad 0.008urad

PSH15/1 ±7.5mrad 0.03urad

PSH30/2 ±15mrad 0.03urad

Piezosystem Jena

モデル	ストローク	分解能
PSH4/1	±2mrad	0.008urad
PSH15/1	±7.5mrad	0.03urad
PSH30/2	±15mrad	0.03urad

薄型超高剛性プッシュプルピエゾステージ

自動ステージ　　Piezosystem Jena　プッシュプルピエゾステージ

モデル	軸数	ストローク	分解能
nanoSX 400	1	450um	0.8nm
nanoSX 400 CAP	1	450um / 350um	0.8nm / 1nm
nanoSX 800	1	900um	1.6nm
nanoSX 800 CAP	1	900um / 800um	4nm
nanoSXY 120	2	120um	0.24nm
nanoSXY 120 CAP	2	120um / 100um	0.24nm / 1nm
nanoSXY 400	2	400um	0.8nm
nanoSXY 400 CAP	2	400um / 320um	0.8 / 1nm

詳細は仕様をダウンロードして、ご確認ください。

Piezosystem Jena

高剛性精密回転ピエゾステージ

自動ステージ　　Piezosystem Jena　回転ステージ

モデルストローク[mrad] 開口[mm] センサータイプ

ROTOR 10 11 φ3 –

ROTOR 10SG 9 φ3 SG

Piezosystem Jena

モデル	ストローク[mrad]	開口[mm]	センサータイプ
ROTOR 10	11	φ3	–
ROTOR 10SG	9	φ3	SG

標準品のマイクロメーターに取り付けて、微動制御が可能

ピエゾアクチュエーター/ピエゾモーター　　Piezosystem Jena　マイクロメーター用ピエゾアクチュエーター

モデル	ストローク	分解能	発生力
MICI80	80um	0.1nm	216N
MICI80SG	80um / 64um	0.1nm/2nm	216N
MICI180	180um	0.4nm	144N
MICI180SG	180um / 144um	0.4nm/4nm	144N
MICI200	250um	250um	110N
MICI200SG	250um / 200um	250nm/200nm	110N

Piezosystem Jena

業界最小クラスの極小ピエゾステージ

自動ステージ　　mechOnics　ピエゾステージ (サイズ:15mm×15mm～)（デモ機あり）

稼働軸 1軸～3軸

ストローク 3～10mm

分解能 10～900nm

最大速度 1.2mm/s

積載量 0.4Nm

ブロッキングフォース 3N

ベアリングフォース 20N

質量 6g

mechOnics

ナノポジショニング小型ピエゾステージ

自動ステージ　　mechOnics　ピエゾステージ (サイズ:30mm×30mm～)（デモ機あり）

稼働軸	1軸～3軸
ストローク	8～30mm
分解能	10～900nm
最大速度	1.2mm/s
積載量	0.5Nm
ブロッキングフォース	4.5N
ベアリングフォース	30N
質量	32～54g

mechOnics

ナノポジショニング小型ピエゾステージ

自動ステージ　　mechOnics　ピエゾステージ (サイズ:30mm×30ｍｍ～40mm×40mm)

稼働軸	1軸～2軸
ストローク	8～11mm
分解能	10～900nm
最大速度	1.2mm/s
積載量	0.5Nm
ブロッキングフォース	4.5N
ベアリングフォース	30N
質量	32～50g

mechOnics

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