世界最小級サブミクロン精度（標準0.2 µm、最小75 nm）の高速２D・３D光造形システム
3D光造形機 Microlight3D 世界最小級3D光造形機 (デモ機間もなく入荷)
µFAB3D-Standard
| 平面分解能（X, Y） |
< 0.2 µm |
| 垂直分解能（Z） |
< 0.6 µm |
| 合わせ目なしの書込み領域 |
100 x 100 x 100 µm3, 200 x 200 x 200 µm3（Piezo 200 オプション）、300 x 300 x 300 µm3（Piezo 300 オプション） |
| 位置分解能 |
2 nm |
| 書込み速度（X, Y） |
100 µm/s（分解能0.2 µm設定時）、最大1.5 mm/s（分解能3 µm設定時） |
| 書込み速度（Z） |
600 µm/s（分解能0.6 µm設定時）、最大5 mm/s（分解能10 µm設定時） |
| 表面粗さ |
20 nm以下（防振台オプション）、最大1 – 5 µm （防振台なし） |
| レーザー光源 |
532 nmパルスレーザー |
| カメラ |
1280 x 1024ピクセル、1/2インチ、8ビット |
| サンプルホルダー |
76 x 26 mm、24 x 24 mm （基板用） |
Microlight3D
