ドイツ、フラウンホーファー研究所では１９９５年よりMEMSミラーの開発を始めました。現在までに最大アパーチャサイズ２０ｍｍのミラーや光学スキャンアングル±３０度、周波数２０KHｚ、最大入射レーザーパワー２KW（CW）等々、他では見られない優れた特徴の数々を持つMEMSミラーを開発してきました。長い開発の歴史が培った現在までの技術の到達点です。