自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ ZONDA
Symetrie社について
フランス国立計測研究所LNEのエンジニアによって、フランス ニームに2001年設立されたSymetrie社は６軸ヘキサポッドステージに特化したヘキサポッドステージメーカーです。最大6000kgの耐荷重の標準製品や産業界や研究機関からの厳しい基準に沿った高精度なヘキサポッドステージを製造、開発しています。
高耐荷重高精度ヘキサポッドステージ ZONDA
ZONDAは、高精度、安定性、精度、重荷重、大きな移動距離の両方を必要とする用途に応える新しい高性能 6DOF システムです。 最大 400 kg のペイロードをわずか 0.1 µm の分解能で位置決めできるように設計された ZONDA ヘキサポッドは、XY で 400 mm、Z で 300 mm、および Rx、Ry、Rz の 3 つの回転で 40 ° の優れた移動距離を提供します。 熱膨張係数 を備えた統合されたインバーコンポーネント、アクチュエータに標準として統合されたリニア アブソリュートエンコーダ、および特に剛性の高いジョイントの設計により、比類のない精度と熱安定性特性を備えています。 縦、横、逆さまなど、どの向きでも使用できます。
仕様
| XYストローク | ±50mm/±200mm(長ストロークモデル) |
|---|---|
| Zストローク | ±25mm/±150mm(長ストロークモデル) |
| チルト | <±10°/±20°(長ストロークモデル) |
| 回転(ZΘ) | ±20° |
| 繰り返し精度(XYZ) | ±0.25μm |
| 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) | ±2.5μrad/±1μrad(長ストロークモデル) |
| サイズ | φ320mm 高さ(Z中間地点)360mm/φ720mm 高さ(Z中間地点)640mm(長ストロークモデル) |
| 耐荷重 | 400kg |
ダウンロード資料
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注意事項
※商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。詳細は各営業担当までお問合せください。
応用例
