自動ステージ　ALIO Industries　XYステージ（デモ機あり）

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True nano Tech 薄型高剛性ステージ

ALIO Industries社が世界中のハイエンドステージメーカーにインパクトを与えた3枚板による。XYステージシステム。従来の1軸を組み合わせる方式ではなく、XY軸を一体型にすることにより、高精度と高剛性を同時に達成することに成功したALIO Industries社の代名詞的なステージ。
※ご希望の際は下記お問い合わせフォームより”デモ希望”とお書きの上、ご連絡ください。

製品特徴

3枚板の薄型高剛性デザイン

中板の両面に高精度クロスローラーを直交させることにより、薄型デザインで高精度、高剛性を実現。ストロークは問わず、±30nmの繰り返し精度を次世代規格6D Point Precisionで実現。

高性能モーター/光学エンコーダー採用

欧米製の一流メーカー品の採用で精度だけでなく、高い信頼性を実現。
MTBF > 100,000h。

Ultra/Nanoオプションで標準アップグレード

多数のアップグレードオプションを用意。レーザーマッピングや構造部材の精度向上により精度向上。

様々なステージとダイレクトアッセンブリー可能。

ALIO Industries社の提供する400種を超えるステージとアダプタープレートを介さずにダイレクトに取り付けることが可能です。それにより、6D Point Precision準拠の多軸ステージシステムとなります。

ストローク	30-450㎜
繰り返し精度	±30nm
分解能	<5nm
最大速度	0.5-1.0m/sec

オプション

商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。
詳細は各営業担当までお問合せください。

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XY stage

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各種ステージにナノメーター精度が要求される今、アリオは2001年より6-Dナノプレシジョンと言う定義を定め、製造する全ての製品にこれを適用することで急成長しました。
レーザーマシニング、半導体関連装置、バイオテクノロジーなどのヘビーデューティな現場で多用されています。ハイブリッドヘキサポッドは新しい移動方法で従来のステージをいくつも重ねるイメージをくつがえし、高精度、高速で任意の位置への複雑な動きを単純移動で可能にしています。