自動ステージ　ALIO Industries　エアベアリングZ軸ステージ

メーカー：

ALIO Industries

カテゴリ：

アプリケーション：

エアベアリング搭載Z軸ステージ

半導体製造装置に向けて開発されたエアベアリング使用のZステージ。CBシリーズで培ったパワーバランス設計と高性能エアベアリングにより、比類なき高安定のZ駆動を実現。

製品特徴

エアベアリングによる比類なきスムーズな走り

Z軸のガイダンスにエアベアリングを採用して、スムーズで平行な昇降を実現。ボイスコイルモータ－による長ストロークながら、高分解能で高精度な制御を可能としました。

高性能モーター/光学エンコーダー採用

欧米製の一流メーカー品の採用で精度だけでなく、高い信頼性を実現。
MTBF > 100,000h。

Ultra/Nanoオプションで標準アップグレード

多数のアップグレードオプションを用意。レーザーマッピングや構造部材の精度向上により精度向上。

様々なステージとダイレクトアッセンブリー可能。

ALIO Industries社の提供する400種を超えるステージとアダプタープレートを介さずにダイレクトに取り付けることが可能です。それにより、6D Point Precision準拠の多軸ステージシステムとなります。

仕様

ストローク お問い合わせください。
繰り返し精度 お問い合わせください。
走り精度 お問い合わせください。

オプション

商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。
詳細は各営業担当までお問合せください。

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ALIO Industries社について

各種ステージにナノメーター精度が要求される今、アリオは2001年より6-Dナノプレシジョンと言う定義を定め、製造する全ての製品にこれを適用することで急成長しました。
レーザーマシニング、半導体関連装置、バイオテクノロジーなどのヘビーデューティな現場で多用されています。ハイブリッドヘキサポッドは新しい移動方法で従来のステージをいくつも重ねるイメージをくつがえし、高精度、高速で任意の位置への複雑な動きを単純移動で可能にしています。

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