音響光学素子 Gooch&Housego AOディフレクター(AODF)/超音波光偏向器
Gooch&Housego社について
自社製作する最高級オプティカルグレードＴｅＯ２結晶や選び抜かれたクリスタラインクォーツを使用し、長年の経験より最適設計され、洗練された効率の良いトランスデューサーのデザインと卓越したボンディング技術によってつくられた高効率な光変調器と光偏向器です。用途に合わせ各種揃えています。また、カスタム製品も、承っております。
加工、顕微鏡の高速スキャン用途に最適なAODF。
全スキャン角度にわたって非常に均一な回折効率を提供し、微細加工やデジタルイメージングなどのスキャン、レーザーを高速に振るアプリケーションに一貫したパワースループットを提供します。
製品特徴
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メカニカルスキャナを凌ぐ最大速度
ガルバノ、ポリゴンミラー、MEMSスキャナー等のメカニカルスキャナを凌ぐ20～80MHzという速度。
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精密スキャニングのための精度
<2µradという精度により、高速で精密なスキャニングが可能に。
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最先端のAODアプリケーション用のRFドライバー
RF出力15W ２ch、25Mhzの更新レート、1KHzの周波数分解能、14ビットの振幅制御等優れた機能をもったRFドライバー。
仕様
下記一覧にないモデルもございますので、お気軽にお問い合わせください。
カスタム品についてもご相談ください。
| Product | Wavelength | Type | Scan Angle | Active Aperture |
Oparating Frequency |
Optical Material |
|---|---|---|---|---|---|---|
| AODF CO2 | N/A | Mid-IR | 60 mrad | 11.6mm | 9.1-9.5 μm | Germanium |
| AODF 266nm | 266 nm | UV | 5.5 mrad | 7 mm | 130 – 210 MHz | Fusad Silica |
| AODF 355nm | 355 nm | UV | 4.9 mrad | 7 mm | 130 – 210 MHz | Crystalline Quartz |
| AODF 364nm | 364 nm | UV | 29.5 mrad | 4.0 × 14.0 mm | 75 – 125 MHz | Tellurium Dioxide |
| AODF 405-488nm | 405 – 488 nm | Visible | 44 mrad | 8.5 mm | 60 – 115MHz | Tellurium Dioxide |
| AODF 440-530nm | 440 – 530 nm | Visible | 44 mrad | 8.5 mm | 60 – 115 MHz | Tellurium Dioxide |
| AODF 488nm | 488 nm | Visible | 39.5 mrad | 4.0 – 14 mm | 75 – 125 MHz | Tellurium Dioxide |
| AODF 532nm | 532 nm | Visible | 6.5 mrad | 7 mm | 90 MHz | Crystalline Quartz |
| AODF 680-1300nm | 680 – 1300 nm | IR | 50 – 106 mrad | 3 mm | 55 MHz | Tellurium Dioxide |
| AODF 750-1064nm | 750 – 1064 nm | IR | 42.5 mrad | 15 mm | 55 – 110 MHz | Tellurium Dioxide |
| AODF 780-980nm | 780 – 980 nm | IR | 44.3 mrad | 2.0 – 6.0 mm | 140 – 280 MHz | Tellurium Dioxide |
| AODF 830nm | 830 nm | IR | 27.6 mrad | 2.0 – 6.0 mm | 140 – 280 MHz | Tellurium Dioxide |
| AODF 1064nm | 1064 nm | IR | 56 mrad | 2 mm | 72.5 – 107.5 MHz | Tellurium Dioxide |
| AODF 1065-1100nm | 1065 – 1100 nm | IR | 8.1 mrad | 2.5 mm | 59 – 91 MHz | Tellurium Dioxide |
| ハイパワー対応AODF 1064nm | 1064 nm | IR | 11.1 mrad | 4 mm | 120 MHz | Crystal Quartz |
| 10mm開口 AODF 1064nm | 1064 nm | IR | 13.5 mrad | 10 mm | 102.5 MHz | Crystal Quartz |
| AODF 1550nm | 1520-1580 nm | IR | 11.8mrad | 4 mm× 7mm | 54 MHz | Tellurium Dioxide |
| AODF 9.4μm | 9.4μm | IR | 60 mrad | 9 / 12 mm | 70MHz | Germanium |
| AODF 4050 | 9.1～9.4μm | IR | 34 mrad | 11.6 mm | 40～60MHz | Germanium |
| AODF 4070 | 9.4μm | IR | 68 mrad | 11 mm | 70MHz | Germanium |
ダウンロード資料
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注意事項
※商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。詳細は各営業担当までお問合せください。
応用例
最新AODアプリケーション
正確で高速な処理を必要とする幅広いアプリケーションに適用できます。ガルバノやポリゴンミラーやリニアステージ等のメカニカルスキャナーとの組み合わせで用いられます。ガルバノミラーで大きく振り、ディフレクターでは細かく振ってトレパニングに対応します。
上記以外にもリソグラフィ、光ピンセット、ウェハ検査、顕微鏡用途等々、様々なご用途にご検討いただけます。
