自動ステージ　　Piezosystem Jena　5軸ピエゾステージ

メーカー：
Piezosystem Jena
カテゴリ：

Piezosystem Jena社について

ピエゾシステムイエナはドイツ光学の源流であるJENAに位置し、すでに25年以上にわたり数多くの製品を発表しています。ここで作り出される商品群は高精度高剛性を誇り研究用途から半導体製造装置、バイオ関連用途、レーザー機器等に数多く用いられています。小型３軸ステージ から多軸大型ステージまでピエゾ素子とメカニカルステージの組み合わせの妙により作り出されるナノポジショニングテクノロジー製品です。高パワーの高電圧ピエゾもまた多数扱っています。

コンパクトな筐体に5軸を搭載したピエゾステージ

コンパクトな筐体に5軸(X, Y, Z, θX, θY)の動作を組み込んだピエゾステージ。ファイバー等の微細調整に最適。

製品特徴

  • ストロークを用意

    最大ストローク：100um

  • 独自フレクシャヒンジデザイン

    独自のフレクシャヒンジ構造で剛性を持ちながら、高い拡大効率を実現。長ストロークながら、コンパクトで高い共振周波数のステージ。

  • 5軸同時制御でマイクロアッセンブリに最適

    nmオーダーの位置決めをXYZθ(x,y)で同時で高速に可能。ファイバーのシリコンオプティクス等、高速、高精度の位置決め用途に最適。

  • エンコーダ内蔵オプションで高精度のクローズドループ制御

    ストレンゲージセンサー(歪タイプ)内蔵モデルがあります。

  • 真空・非磁性・極低温等、様々な環境対応

    ユーザーの様々な要求に合わせた材料を使用して、各種の環境に対応したステージを用意。宇宙空間での使用実績もあります。

  • 様々な用途に対応する大開口モデル

    最大有効径は17㎜

仕様

モデル ストローク[um] 開口[mm](φ) センサータイプ
PENTOR 100 17 –
PENTOR SG 100 17 SG

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