自動ステージ Piezosystem Jena X軸ピエゾステージ
Piezosystem Jena社について
ピエゾシステムイエナはドイツ光学の源流であるJENAに位置し、すでに25年以上にわたり数多くの製品を発表しています。ここで作り出される商品群は高精度高剛性を誇り研究用途から半導体製造装置、バイオ関連用途、レーザー機器等に数多く用いられています。小型３軸ステージ から多軸大型ステージまでピエゾ素子とメカニカルステージの組み合わせの妙により作り出されるナノポジショニングテクノロジー製品です。高パワーの高電圧ピエゾもまた多数扱っています。
小型長ストロークX軸ピエゾステージ
水平1軸のピエゾステージ。独自のヒンジ構造を利用してコンパクトながら長軸ステージ。センサー搭載モデルでナノメーターレベルの位置決めが可能。
製品特徴
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様々なストロークを用意
最大ストローク：400um
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独自フレクシャヒンジデザイン
独自のフレクシャヒンジ構造で剛性を持ちながら、高い拡大効率を実現。長ストロークながら、コンパクトで高い共振周波数のステージ。
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エンコーダ内蔵オプションで高精度のクローズドループ制御
ストレンゲージセンサー(歪タイプ)、キャパシタンスセンサー(静電容量タイプ)を選択できて、用途、予算で選択可能。
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真空・非磁性・極低温等、様々な環境対応
ユーザーの様々な要求に合わせた材料を使用して、各種の環境に対応したステージを用意。
仕様
| ストローク | 分解能 | センサータイプ | |
|---|---|---|---|
| PX38 | 39um | 0.07nm | – |
| PX38 SG | 39um / 32um | 0.07nm / 0.7nm | SG |
| PX50 CAP | 50um / 40um | 0.1nm / 1nm | CAP |
| PX100 | 100um | 0.2nm | – |
| PX100 SG | 100um / 80um | 0.2nm / 2nm | SG |
| PX200 | 200um | 0.4nm | – |
| PX200 SG | 200um / 160um | 0.4nm / 4nm | SG |
| PX200 CAP | 200um / 160um | 0.4nm / 2nm | CAP |
| PX300 | 300um | 0.6nm | – |
| PX300 SG | 300um / 240um | 0.6nm / 6nm | SG |
| PX300 CAP | 300um / 240um | 0.6nm / 3nm | CAP |
| PX400 | 400um | 0.8nm | – |
| PX400 SG | 400um / 320um | 0.8nm / 8 nm | SG |
| PX400 CAP | 400um / 320um | 0.8nm / 4nm | CAP |
ダウンロード資料
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注意事項
※商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。詳細は各営業担当までお問合せください。
