自動ステージ ALIO Industries 長ストロークステージ
ALIO Industries社について
各種ステージにナノメーター精度が要求される今、アリオは2001年より6-Dナノプレシジョンと言う定義を定め、製造する全ての製品にこれを適用することで急成長しました。 レーザーマシニング、半導体関連装置、バイオテクノロジーなどのヘビーデューティな現場で多用されています。ハイブリッドヘキサポッドは新しい移動方法で従来のステージをいくつも重ねるイメージをくつがえし、高精度、高速で任意の位置への複雑な動きを単純移動で可能にしています。
長ストローク高精度ステージ
ハイエンドボールレールベアリング/光学エンコーダー/リニアモーターを採用した高性能長ストロークステージ。レールベアリングは安価な1本タイプと高安定の2本タイプがあります。また、XYアッセンブリや大きな搭載物の際に最適な幅広タイプと様々なラインナップがあります。
製品特徴
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高精度の長尺ステージ
高精度のボールベアリングに加え、リニアモーター＋リニアエンコーダーの組み合わせで長尺ながら高精度のステージを実現。
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加工用シールドオプション
加工機に搭載した際に加工時に発生する切子の様なパーティクルをステージに取り込まない様に独自カバーを用意しています。
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高性能モーター/光学エンコーダー採用
欧米製の一流メーカー品の採用で精度だけでなく、高い信頼性を実現。
MTBF > 100,000h。 -
様々なステージとダイレクトアッセンブリー可能。
ALIO Industries社の提供する400種を超えるステージとアダプタープレートを介さずにダイレクトに取り付けることが可能です。それにより、6D Point Precision準拠の多軸ステージシステムとなります。
仕様
| ストローク | 100-2000㎜ |
|---|---|
| 繰り返し精度 | ±30nm |
| 分解能 | <5nm |
| 加速度 | 最大4G |
ダウンロード資料
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注意事項
※商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。詳細は各営業担当までお問合せください。
