わずか15mm角、厚さ7mm、ストローク3mm、重さ6gの超小型ピエゾステージから、50mm ストロークまでの多種類X、XY、XYZステージを揃えています。通常環境以外に、超真空 (10-10mbar)、極低温(4K)などに適応する機種があり、使い勝手の良いドライバーも用途に合わせ各種用意されています。メコニクスの新製品マルチアクチュエーターを組み込んだ10mmストロークステージはNOVAコントローラーを使用することで16Nというブロッキングフォースが得られます。
自動ステージ mechOnics ピエゾステージ (サイズ:15mm×15mm~)(デモ機あり)
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業界最小クラスの極小ピエゾステージ
15mm×15mmという業界最小クラスのステージをご用意。
研究用途から産業用途まで幅広いナノポジショニングアプリケーションに新たな可能性が広がります。
小型サイズを追求したため、オープンループ製品のみとなりまして、エンコーダーの搭載は無しとなります。
高真空対応モデルもあります。
※ご希望の際は下記お問い合わせフォームより”デモ希望”とお書きの上、ご連絡ください。
製品特徴

業界最小クラスのサイズ
15×15mmという業界も驚く極小サイズ。導波路、ファイバーの位置決め等のアプリケーションで多く採用されております。

高真空対応モデルも対応可能
10^(-9mbar) までの真空対応モデルを標準品でご用意しております。真空STM、AFM、SEMでのサンプルの位置決め等にもご利用可能です。

10mmストローク製品を新たにリリース
22mm x 15 mm というサイズで厚さ7mm、10mmストローク製品を新たにリリースしました。3.5mmのストロークでは足りなかった方におすすめです。

2軸、3軸対応可能
複数の製品を組み合わせることでXY、XZ、XYZ軸など多軸の構成も可能です。

幅広いコントローラーのラインナップ
ハンドヘルドタイプ、PC接続タイプ、クローズドループ対応タイプ、組込が容易になるボードタイプと様々なコントローラーをご用意。すべて1つのコントローラーで3軸の制御が可能です。研究用途から産業用途まで幅広いナノポジショニングアプリケーションに新たな可能性が広がります。
仕様
稼働軸 | 1軸~3軸 |
---|---|
ストローク | 3~10mm |
分解能 | 10~900nm |
最大速度 | 1.2mm/s |
積載量 | 0.4Nm |
ブロッキングフォース | 3N |
ベアリングフォース | 20N |
質量 | 6g |
オプション
商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。
詳細は各営業担当までお問合せください。
応用例
mechOnics社の超高真空対応ステージが可能とするアプリケーション
mechOnics社のステージは、準静的アプリケーションではほとんど電力を必要としません。 真空環境を必要とする宇宙関連や、物理実験の多くの実験に非常に有効です。 10^(-9mbar) までの真空対応モデルを標準品でご用意しておりますが、 10^(-10~-11mbar) までのカスタム対応の実績もあります。

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