自動ステージ　　ALIO Industries　ガントリー

メーカー：
ALIO Industries
カテゴリ：

ALIO Industries社について

各種ステージにナノメーター精度が要求される今、アリオは2001年より6-Dナノプレシジョンと言う定義を定め、製造する全ての製品にこれを適用することで急成長しました。 レーザーマシニング、半導体関連装置、バイオテクノロジーなどのヘビーデューティな現場で多用されています。ハイブリッドヘキサポッドは新しい移動方法で従来のステージをいくつも重ねるイメージをくつがえし、高精度、高速で任意の位置への複雑な動きを単純移動で可能にしています。

ハイエンド汎用ガントリー

デスクトップな200㎜ストロークからメーターサイズまで様々なサイズをラインナップ。その特徴はXY軸共に＜±0.1umの高い繰り返し精度、>2.5Gの加速、高い走り精度となります。また、特殊機構と2本のY軸を個別駆動させることにより、角度制御が可能となっています。

製品特徴


  • 特殊ジョイントで角度制御が可能

    Y軸の2本軸を独立制御をすることにより、角度、円弧の制御がよりスムーズに行うことが可能です。


  • 小型デスクトップタイプガントリーシステム

    >200㎜ストロークで取り付けも容易なガントリーシステム。高い走り精度をベースに±1umの精度を得ることが可能です。


  • 高性能モーター/光学エンコーダー採用

    欧米製の一流メーカー品の採用で精度だけでなく、高い信頼性を実現。MTBF>100,000ｈ。


  • 様々なステージとダイレクトアッセンブリー可能。

    ALIO Industries社の提供する400種を超えるステージとアダプタープレートを介さずにダイレクトに取り付けることが可能です。それにより、6D Point Precision準拠の多軸ステージシステムとなります。

仕様

XYストローク 200-700㎜　(スタンダード)
1m以上のカスタム対応可
最大速度 お問い合わせください
精度 お問い合わせください

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注意事項

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