ピエゾアクチュエーター/ピエゾモーター NANOS Instruments エンコーダー付きピエゾモーター
NANOS Instruments社について
ナノスインストゥルメンツ社(独)はスウェーデンウプサラにあるピエゾモーター社のピエゾモーターを利用し、各種バックラッシュのない精密ステージ類を製作しています。ユーザーアプリケーションに必要なX、XY、XYZ、θ等、数多く品数を揃え、オープンループはもちろん、エンコーダーを組み込んだクローズドループタイプにも対応しています。またモーターに対応するコントローラーも提供しています。
エンコーダー付きピエゾモーター
NANOS Instrument社はPiezoMotor社のピエゾモーターをカスタマイズし、自社開発のエンコーダーを組み込んだ精密モーターを提供しています。
X、XY、XYZ、θステージなど数多くのラインナップを持ち、オープンループ、クローズドループはもちろん、真空対応ステージや非磁性対応ステージも提供しています。
※ご希望の際は下記お問い合わせフォームより”デモ希望”とお書きの上、ご連絡ください。
製品特徴
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エンコーダ付きピエゾモーター
アクチュエータはフリクションベースのピエゾモーターを使用しておりバックラッシュフリーで使用可能です。電源を切っても位置を保持するため精密位置決め用途に最適です。小型高推力のピエゾモーターに自社設計の低消費電力・高精度エンコーダーを組み込みました。分解能10nmのマグネチックエンコーダーと0.5nmのオプティカルエンコーダーを選択可能です。
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ミラーマウントアクチュエーター
各メーカーのミラーマウントを簡単にモーターライズ可能です。ベースとなるピエゾモーターは静止保持力20Nでほとんどのミラーマウントに取り付け可能です。
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ロータリーステージ
中空回転ステージにインクリメンタルエンコーダーを組み込んだモデルです。
ダウンロード資料
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ダウンロードするには下記の情報を入力してください。
注意事項
※商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。詳細は各営業担当までお問合せください。
