自動ステージ　　Piezosystem Jena　ピエゾティルトステージ

メーカー：
Piezosystem Jena
カテゴリ：

Piezosystem Jena社について

ピエゾシステムイエナはドイツ光学の源流であるJENAに位置し、すでに25年以上にわたり数多くの製品を発表しています。ここで作り出される商品群は高精度高剛性を誇り研究用途から半導体製造装置、バイオ関連用途、レーザー機器等に数多く用いられています。小型３軸ステージ から多軸大型ステージまでピエゾ素子とメカニカルステージの組み合わせの妙により作り出されるナノポジショニングテクノロジー製品です。高パワーの高電圧ピエゾもまた多数扱っています。

3軸ピエゾ高速ティルトステージ

ダイレクトピエゾドライブを利用したピエゾティルトステージ。ダイレクトドライブの高剛性を利用して、共振点の高いティルトステージを実現。レーザー用ミラーを取り付けて、高速スキャンが可能。キネマティックデザインでθX、θYに加え、Z軸(ミラー平行移動)も可能。

製品特徴

  • 様々なストロークを用意

    最大ストローク：8mrad

  • PZT3軸搭載でZ軸駆動可能

    ピボットポイントにもPZTを取り付けている為、3軸の同時駆動により、ミラーの平行移動も可能。

  • エンコーダ内蔵オプションで高精度のクローズドループ制御

    ストレンゲージセンサー(歪タイプ)オプションがあり、サイズアップなくセンサーを内蔵可能。

  • 高剛性・高共振周波数モデル

    最大共進周波数5.8kHz

  • サブマイクロラジアン分解能

    低ノイズのドライバー・コントローラーを使用することにより、ナノメーターを切った分解能を実現可能。

  • 真空・非磁性・極低温等、様々な環境対応

    ステージ内に相殺機能を組み込まれているので、様々な環境下で微細な調整、保持を要求されるアプリケーションにも最適です。

仕様

モデル ストローク[mrad] Z軸ストローク[um] センサータイプ
PSH 1 1 – SG
PSH 1z 1 8 SG
PSH 2 2 – SG
PSH 2z 2 16 SG
PSH 3 3 – SG
PSH 3z 3 26 SG
PSH 4 4 – SG
PSH 4z 4 33 SG
PSH 8 8 – SG
PSH 8z 8 – SG

詳細は仕様をダウンロードして、ご確認ください。

ダウンロード資料

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注意事項

※商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。詳細は各営業担当までお問合せください。

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