自動ステージ Piezosystem Jena ピエゾティルトステージ(1軸)
Piezosystem Jena社について
ピエゾシステムイエナはドイツ光学の源流であるJENAに位置し、すでに25年以上にわたり数多くの製品を発表しています。ここで作り出される商品群は高精度高剛性を誇り研究用途から半導体製造装置、バイオ関連用途、レーザー機器等に数多く用いられています。小型３軸ステージ から多軸大型ステージまでピエゾ素子とメカニカルステージの組み合わせの妙により作り出されるナノポジショニングテクノロジー製品です。高パワーの高電圧ピエゾもまた多数扱っています。
1軸ピエゾ高速ティルトステージ
ダイレクトピエゾドライブを利用したピエゾティルトステージ。ダイレクトドライブの高剛性を利用して、共振点の高いティルトステージを実現。レーザー用ミラーを取り付けて、高速スキャンが可能。1軸に絞ることにより、4mrad～35mrad(2 °)と様々なアプリケーションに合わせたモデルを用意。
製品特徴
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様々なストロークを用意
最大ストローク：35mrad
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独自フレクシャヒンジデザイン
独自のフレクシャヒンジ構造で剛性を持ちながら、高い拡大効率を実現。長ストロークながら、コンパクトで高共振周波数のステージ。
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極小タイプのチルトステージ
φ12㎜ x 20㎜ｈの超小型サイズのチルトステージで±4mradのストロークを実現。
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高剛性・高共振周波数モデル
最大共進周波数6.5kHz
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低ノイズのドライバー・コントローラーを使用することにより、ナノメーターを切った分解能を実現可能
低ノイズのドライバー・コントローラーを使用することにより、ナノメーターを切った分解能を実現可能。
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真空・非磁性・極低温等、様々な環境対応
ステージ内に相殺機能を組み込まれているので、様々な環境下で微細な調整、保持を要求されるアプリケーションにも最適です。
仕様
| モデル | ストローク | 分解能 |
|---|---|---|
| PSH4/1 | ±2mrad | 0.008urad |
| PSH15/1 | ±7.5mrad | 0.03urad |
| PSH30/2 | ±15mrad | 0.03urad |
ダウンロード資料
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注意事項
※商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。詳細は各営業担当までお問合せください。
