自動ステージ mechOnics 穴あきピエゾステージ (サイズ:30mm×30mm)
mechOnics社について
わずか15mm角、厚さ7mm、ストローク3mm、重さ6gの超小型ピエゾステージから、50mm ストロークまでの多種類X、XY、XYZステージを揃えています。通常環境以外に、超真空 (10-10mbar)、極低温(4K)などに適応する機種があり、使い勝手の良いドライバーも用途に合わせ各種用意されています。メコニクスの新製品マルチアクチュエーターを組み込んだ10mmストロークステージはNOVAコントローラーを使用することで16Nというブロッキングフォースが得られます。
ナノポジショニング穴あき小型ピエゾステージ
8mmの可動域とと10mm開口を持つmechOnics社の小型穴あきピエゾステージは様々な光学調整のアプリケーションで採用されております。
研究用途から産業用途まで幅広いナノポジショニングアプリケーションに新たな可能性が広がります。
クローズドループ対応も可能で、再現性に優れたポジショニングを可能とします。高真空対応モデルもあります。
製品特徴
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真空対応モデルも対応可能
10^(-9mbar) までの真空対応モデルをご用意しております。真空STM、AFM、SEMでのサンプルの位置決め等にもご利用可能です。
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クローズドループ対応製品もご用意
エンコーダーを搭載することによって、再現性に優れたポジショニングを可能とします。※画像はMS30クローズドループ対応モデルとなっております。
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幅広いコントローラーのラインナップ
ハンドヘルドタイプ、PC接続タイプ、クローズドループ対応タイプ、組込が容易になるボードタイプと様々なコントローラーをご用意。すべて1つのコントローラーで3軸の制御が可能です。研究用途から産業用途まで幅広いナノポジショニングアプリケーションに新たな可能性が広がります。
仕様
稼働軸 | 1軸~3軸 |
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ストローク | 8mm |
分解能 | 10~900nm |
最大速度 | 1.5mm/s |
積載量 | 0.4Nm |
ブロッキングフォース | 4.5N |
ベアリングフォース | 20N |
質量 | 32g |
ダウンロード資料
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ダウンロードするには下記の情報を入力してください。
注意事項
※商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。詳細は各営業担当までお問合せください。
応用例
mechOnics社の小型穴あきピエゾステージが可能とする光学調整アプリケーション
8mmの可動域と10mm開口を持つmechOnics社の小型穴あきピエゾステージは様々な光学調整のアプリケーションで採用されております。