ピエゾシステムイエナはドイツ光学の源流であるJENAに位置し、すでに25年以上にわたり数多くの製品を発表しています。ここで作り出される商品群は高精度高剛性を誇り研究用途から半導体製造装置、バイオ関連用途、レーザー機器等に数多く用いられています。小型３軸ステージ から多軸大型ステージまでピエゾ素子とメカニカルステージの組み合わせの妙により作り出されるナノポジショニングテクノロジー製品です。高パワーの高電圧ピエゾもまた多数扱っています。
自動アクチュエーター Piezosystem Jena 対物レンズ用アクチュエーター/フォーカシングポジショナー
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高剛性！対物レンズ用アクチュエーター
顕微鏡への取り付けが容易で、コンパクトなデザイン、様々な顕微鏡や他の光学システムで利用可能 な高剛性の対物レンズ用アクチュエーター/フォーカシングポジショナー。正立顕微鏡用、倒立顕微鏡用それぞれに対応した製品ラインアップをご用意しております。また、下記スレッドに対応。 W0.8x1/36" (RMS) M25x0.75 M26x0.75 M26x1/36" (Mitutoyo) M27x0.75 M32x0.75
製品特徴
20 µm(open)/16μm(closed)の調整範囲(モデル:MIPOS 20)
サブnmの分解能、ドリフト、ヒステリシスを回避するためのストレンゲージセンサー(歪タイプ)もご用意。
100 µm(open)/80μm(closed)の調整範囲(モデル:MIPOS 100)
300gまでの対物レンズ用、ドリフト、ヒステリシスを回避するためのストレンゲージセンサー(歪タイプ)もご用意。プリロード付きMIPOS100PLというモデルがあり、高剛性を実現しているため、1台で正立、倒立顕微鏡の両方に対応可能。
250 µm(open)/200μm(closed)の調整範囲(モデル:MIPOS 250)
300g、直径40mmまでの対物レンズ用、ドリフト、ヒステリシスを回避するためのストレンゲージセンサー(歪タイプ)、また、より高分解能のキャパシタンスセンサー(静電容量タイプ)もご用意。
400 µm(open)/320μm(closed)の調整範囲(モデル:nano MIPOS 400)
400µmのストロークで、nmの分解能。高分解能のキャパシタンスセンサー(静電容量タイプ)もご用意。pushpull方式を採用しているため、高負荷に対応。
500 µm(open)/400μm(closed)の調整範囲(モデル:MIPOS 500)
500 µmのストロークで、nmの分解能。ドリフト、ヒステリシスを回避するためのストレンゲージセンサー(歪タイプ)もご用意
600 µm(open)/500μm(closed)の調整範囲(モデル:MIPOS 600)
600 µmのストロークで、サブnmの分解能。ドリフト、ヒステリシスを回避するためのストレンゲージセンサー(歪タイプ)もご用意
仕様
| ストローク | 分解能 | センサータイプ | |
|---|---|---|---|
| MIPOS 20 | 20um / 16um | 0.04nm/1nm(SG) | SG |
| MIPOS 100 | 100um / 80um | 0.2nm/2nm(SG) | SG |
| MIPOS 250 | 250um / 200um | 0.5nm/5nm(SG)/1nm(CAP) | SG/CAP |
| nano MIPOS 400 | 400um / 320um | 0.8nm/1nm(CAP) | CAP |
| MIPOS 500 | 500um / 400um | 0.9nm/12nm(SG) | SG |
| MIPOS 600 | 600um / 500um | 0.9nm/12nm(SG) | SG |
オプション
商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。
詳細は各営業担当までお問合せください。
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