自動ステージ　　ALIO Industries　プラナーステージ

メーカー：
ALIO Industries
カテゴリ：

ALIO Industries社について

各種ステージにナノメーター精度が要求される今、アリオは2001年より6-Dナノプレシジョンと言う定義を定め、製造する全ての製品にこれを適用することで急成長しました。 レーザーマシニング、半導体関連装置、バイオテクノロジーなどのヘビーデューティな現場で多用されています。ハイブリッドヘキサポッドは新しい移動方法で従来のステージをいくつも重ねるイメージをくつがえし、高精度、高速で任意の位置への複雑な動きを単純移動で可能にしています。

比類なきTrue nano グレードのプラナーステージ

高いフラットネスに仕上げられたグラナイト上を高安定エアベアリングでミクロンレベルで浮上して、駆動するエアベアリングプラナーステージ。最上級の走り精度/位置決め精度とフリーフォームな動きを実現。ハイパワーリニアモーターを使用することにより、高速、高加速な動きにも対応します。穴あきタイプオプションやZ軸・回転ステージとの組み合わせで様々なアプリケーションに対応します。

製品特徴


  • エアベアリングによる比類なきスムーズな走り

    グラナイトのフラットネスに沿って、浮上したエアベアリングで走ることにより一般的なガイドステージには到達できない比類なき走り精度を実現。(フラットネス:<1um/meter, Yaw error: < 1秒)


  • 高性能モーター/光学エンコーダー採用

    欧米製の一流メーカー品の採用で精度だけでなく、高い信頼性を実現。
    MTBF > 100,000h。


  • 様々なステージとダイレクトアッセンブリー可能。

    ALIO Industries社の提供する400種を超えるステージとアダプタープレートを介さずにダイレクトに取り付けることが可能です。それにより、6D Point Precision準拠の多軸ステージシステムとなります。

仕様

詳細仕様はお取合せください。

注意事項

※商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。詳細は各営業担当までお問合せください。

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