自動ステージ　　ALIO Industries　回転ステージ

メーカー：
ALIO Industries
カテゴリ：

ALIO Industries社について

各種ステージにナノメーター精度が要求される今、アリオは2001年より6-Dナノプレシジョンと言う定義を定め、製造する全ての製品にこれを適用することで急成長しました。 レーザーマシニング、半導体関連装置、バイオテクノロジーなどのヘビーデューティな現場で多用されています。ハイブリッドヘキサポッドは新しい移動方法で従来のステージをいくつも重ねるイメージをくつがえし、高精度、高速で任意の位置への複雑な動きを単純移動で可能にしています。

小型ハイパワー回転ステージ

小型、薄型の高トルク回転ステージ。高速駆動、高い精度で360°の回転運動から、アライメントに最適な薄型開口タイプまでアプリケーションに合わせた様々なタイプの回転ステージをラインナップ。

製品特徴


  • 独自トルクモータ採用

    モーターサプライヤーと共同開発により、他社に比べ、小型ながらハイトルクなタイプの回転ステージです。従来の回転ステージより、ワンサイズ小さなステージを選べるので、サイズ、コスト共にユーザーフレンドリーな回転ステージです。


  • 高性能モーター/光学エンコーダー採用

    欧米製の一流メーカー品の採用で精度だけでなく、高い信頼性を実現。
    MTBF > 100,000h。


  • Ultra/Nanoオプションで標準アップグレード

    多数のアップグレードオプションを用意。レーザーマッピングや構造部材の精度向上により精度向上。


  • 様々なステージとダイレクトアッセンブリー可能。

    ALIO Industries社の提供する400種を超えるステージとアダプタープレートを介さずにダイレクトに取り付けることが可能です。それにより、6D Point Precision準拠の多軸ステージシステムとなります。

仕様

ステージ径 56-208mm
繰り返し精度 ±0.3秒　(nano Option時)
最高速度 1800°/秒
メカニカルエラー お問い合わせください。
最大負荷 お問い合わせください。

ダウンロード資料

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注意事項

※商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。詳細は各営業担当までお問合せください。

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