自動ステージ　　ALIO Industries　大口径アパチャ薄型ステージ

メーカー：
ALIO Industries
カテゴリ：
アプリケーション：

ALIO Industries社について

各種ステージにナノメーター精度が要求される今、アリオは2001年より6-Dナノプレシジョンと言う定義を定め、製造する全ての製品にこれを適用することで急成長しました。 レーザーマシニング、半導体関連装置、バイオテクノロジーなどのヘビーデューティな現場で多用されています。ハイブリッドヘキサポッドは新しい移動方法で従来のステージをいくつも重ねるイメージをくつがえし、高精度、高速で任意の位置への複雑な動きを単純移動で可能にしています。

リニアモーター搭載で超大口径アパチャ薄型ステージ

リニアモーターを利用した超大開口の超薄型回転ステージ。その特徴を生かし、Monolithic XYステージと組みあわせて、アライメントや、Active yewに最適なステージです。

製品特徴


  • 超薄型を実現した回転ステージ。

    駆動モーターをリニアモーターにして、超薄型でサブ秒角の繰り返し精度を持った回転ステージ。その厚さは36㎜という薄型を実現。中央には大開口があります。


  • 高性能モーター/光学エンコーダー採用

    欧米製の一流メーカー品の採用で精度だけでなく、高い信頼性を実現。
    MTBF > 100,000h。


  • Ultra/Nanoオプションで標準アップグレード

    多数のアップグレードオプションを用意。レーザーマッピングや構造部材の精度向上により精度向上。


  • 様々なステージとダイレクトアッセンブリー可能。

    ALIO Industries社の提供する400種を超えるステージとアダプタープレートを介さずにダイレクトに取り付けることが可能です。それにより、6D Point Precision準拠の多軸ステージシステムとなります。

仕様

開口径 φ56～312mm
分解能 0.01-0.04 arc-sec
繰り返し精度 ～ ±30nm

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注意事項

※商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。詳細は各営業担当までお問合せください。

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