フランス国立計測研究所LNEのエンジニアによって、フランス ニームに2001年設立されたSymetrie社は６軸ヘキサポッドステージに特化したヘキサポッドステージメーカーです。最大6000kgの耐荷重の標準製品や産業界や研究機関からの厳しい基準に沿った高精度なヘキサポッドステージを製造、開発しています。
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ BREVA
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カテゴリ：
アプリケーション：
高精度ヘキサポッドステージ BREVA
BREVA は、高い角度精度を提供するように特別に設計されています。 XYZ0.5 µm 、回転 2.5 µrad の分解能で、サンプル、プローブ、センサーなどの物体の角度位置決めが可能です。垂直、水平、逆さなど、オリエンテーションフリーで使用できます。
仕様
| XYストローク | ±75mm |
|---|---|
| Zストローク | ±50mm |
| チルト | <±20° |
| 回転(ZΘ) | ±22° |
| 繰り返し精度(XYZ) | ±0.5μm |
| 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) | ±2.5μrad |
| サイズ | φ606mm 高さ(Z中間地点)350mm 開口φ250mm |
| 耐荷重 | 200kg |
オプション
商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。
詳細は各営業担当までお問合せください。
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