フランス国立計測研究所LNEのエンジニアによって、フランス ニームに2001年設立されたSymetrie社は６軸ヘキサポッドステージに特化したヘキサポッドステージメーカーです。最大6000kgの耐荷重の標準製品や産業界や研究機関からの厳しい基準に沿った高精度なヘキサポッドステージを製造、開発しています。
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ PUNA
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シンプル高精度ヘキサポッドステージ PUNA
PUNA は、研究や産業における高精度位置決めアプリケーションを最適な予算で満たすシンプルなヘキサポッドです。 耐荷重 25 kg に対して、XYZで 0.5 μm、回転で 5 μrad (0.0003 °) の分解能を提供します。 設計を簡素化するために、モーターはインラインで取り付けられ、インクリメンタルロータリーエンコーダーが組み込まれています。
仕様
| XYストローク | ±30mm |
|---|---|
| Zストローク | ±20mm |
| チルト | <±11° |
| 回転(ZΘ) | ±20° |
| 繰り返し精度(XYZ) | ±0.75μm |
| 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) | ±3.2μrad |
| サイズ | φ320mm 高さ(Z中間地点)200mm 開口φ144mm |
| 耐荷重 | 25kg |
オプション
商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。
詳細は各営業担当までお問合せください。
応用例
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