長寿命でノイズや振動が極めて少ない超音波モーターを用いた精密ステージです。

ほとんどのピエゾモーションシステムで発生する不快な音を防ぎ、完全に無音にします。
またXeryon製の回転やリニアステージの組み合わせやインストール操作がとても簡単です。

Xeryonは、100 mmまでの移動範囲で、様々な高精度のリニアステージを提供します。特許取得済みCrossfixx™の超音波モーター技術により、最速200 mm/sの移動速度と速度安定性を提供します。すべてのステージはインストールが簡単で、直感的に使用できます。1.25 µmから1 nmの分解能まで、さまざまなレベルの精度で提供できます。また、SEMや真空チャンバー用に最適な真空・非磁性オプションがございます。すべての精密ステージ（回転およびリニア）を組み合わせて、ニーズに合った多軸ステージを構築できます。ステージは簡単に取り付け可能で、必要に応じてカスタムブラケットを作成できます。