自動ステージ　　ALIO Industries　Z軸ステージ

メーカー：
ALIO Industries
カテゴリ：

ALIO Industries社について

各種ステージにナノメーター精度が要求される今、アリオは2001年より6-Dナノプレシジョンと言う定義を定め、製造する全ての製品にこれを適用することで急成長しました。 レーザーマシニング、半導体関連装置、バイオテクノロジーなどのヘビーデューティな現場で多用されています。ハイブリッドヘキサポッドは新しい移動方法で従来のステージをいくつも重ねるイメージをくつがえし、高精度、高速で任意の位置への複雑な動きを単純移動で可能にしています。

長ストロークZ軸ステージ

重いものを昇降駆動させるアプリケーションに最適なBall Screw Driveを使用したZステージ。高出力レーザー加工機の光学ヘッド調整等の高精度でありながら、高い安定性を要求されるアプリケーションに最適。

製品特徴


  • 長ストロークにも安心なボールベアリングスクリュードライブZステージ

    高精密ながら、高安定を可能とする高級ボールスクリュードライブを採用したZ軸ステージ。カウンターバランスを必要としないので、搭載が容易。オプションで停電時の落下防止機能も付加可能。


  • 高性能モーター/光学エンコーダー採用

    欧米製の一流メーカー品の採用で精度だけでなく、高い信頼性を実現。
    MTBF>100,000h。


  • Ultra/Nanoオプションで標準アップグレード

    多数のアップグレードオプションを用意。レーザーマッピングや構造部材の精度向上により精度向上。


  • 様々なステージとダイレクトアッセンブリー可能。

    ALIO Industries社の提供する400種を超えるステージとアダプタープレートを介さずにダイレクトに取り付けることが可能です。それにより、6D Point Precision準拠の多軸ステージシステムとなります。

仕様

ストローク 50-350mm
繰り返し精度 <±100nm、<1.0um　(モーターによる)
走り精度 お問い合わせください。
最大負荷 お問い合わせください。

注意事項

※商品のデザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。詳細は各営業担当までお問合せください。

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